EPS-300全自動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)是韓國(guó)Ecopia公司的一款手動(dòng)探針臺(tái)。EPS-300尺寸緊湊，高性?xún)r(jià)比，適合放置在手套箱、屏蔽箱內(nèi)使用，適合與太陽(yáng)光模擬器或其他儀器聯(lián)用。
 
全自動(dòng)半自動(dòng)探針臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格：
- 鍍金真空樣品吸盤(pán)：4英寸；
- 樣品尺寸：5x5mm ~ 4英寸；
- 顯微鏡：立體顯微鏡；
- 大放大倍數(shù)：90X, 135X, 200X；
- 樣品卡盤(pán)平整度：10um；
- 探針座精度：5um, 選配0.7um；
- 樣品卡盤(pán)移動(dòng)X-Y-Z：50mm-50mm-12mm；
- 探針鎖位設(shè)計(jì)，防止回針(選配)；
 
可選附件：
- CCD視頻鏡頭；
- 加熱臺(tái)；
- 黑箱、屏蔽箱；
- 防振臺(tái)；
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參考用戶：
上海交大、浙江大學(xué)、西安交大、中國(guó)科大、合肥工大、西南交大、貴州大學(xué)、長(zhǎng)春理工大學(xué)、福州大學(xué)、天津理工大學(xué)、中科院上海有機(jī)所、北京納米所、新疆理化所、蘇州納米所、蘇州AMD等...